Brooks质量流量计的特点是高精度、高零点稳定性以及高重复性，而上述特性正是行业对质量流量测量和控制技术的需求所在，产品设计采用先进的可配置多气体/多量程功能，非常适用于各OEM：尺寸小巧，可轻松集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装

Brooks5850E质量流量计具有长期稳定性，可确保完成生产目标$n型号5850E,i/5860E,i/5851E,i/5861E,i/5853E,i/5863E,i$n每条产品线都有主力设备型号-而我们的5850E和5850i系列热式质量流量控制器完全符合主力设备标准。

BrooksSLA5850S质量流量计设计采用先进的可配置多气体/多量程功能，相较于竞争产品拥有更好的零点漂移参数并且经确证能够更持久地保持出厂校准状态和精度

BrooksSLA5851S质量流量计关键应用：化学品与石化分析和试验过程；实验室和分析系统；生命科学实验室；薄膜气相沉积；热处理、切割等其他热过程；真空应用。

BrooksSLA5853S质量流量计长期零点稳定性，每年变动小于满量程的0.2%；流量范围宽-从0.003一直到2500lpm；耐压等级-高达1500psi/100bar（可选：4500psi/310bar）