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Brooks SLA5851S 质量流量计
Brooks SLA5851S 质量流量计的详细资料
品牌 无 材质 不锈钢 精度等级 1 适用介质 气体 款式 电子带数显 转换器形式 一体式 公称直径 3-25mm 压力范围 中压 工作压力 0-10Mpa 流量测速范围 0-100L/MIMkg/h 温度范围 中温 工作温度 0-65℃ 产地 进口 加工定制 否 质保 1年
17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69) ±0.6% of SP (20- FS) ±0.12% of FS (<20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS Standard Devices (includes uncertainty from reference standards ±0.9% of SP (20- FS) ±0.18% of FS (2-20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS
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