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布鲁克斯5850EMBrooks 5850EM金属密封型质量流量计的详细资料

特点

  • 长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 0.2%
  • 能够根据命令变化在 3 秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计
  • 流量范围宽 - 3 sccm 至高达 30,000 slpm
  • 高压额定值 - 高达 1,500 psi
  • 可选增强型内部后处理工艺 - 5µ 英寸 Ra(平均值)
  • 可拆卸式流量传感器
  • 不受安装角度影响
  • 其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
  • TTL 兼容型"阀关闭"和吹扫功能

优势

  • 全金属流路可确保气体纯度并降低泄漏风险
  • 在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性
  • 由于性能可靠,因此投资回报率出众
  • 采用可拆卸式流量传感器,因此无需对气压进行连续监测和重新调节
  • 由于模拟量仅为输入/输出,因此易于安装和保养

应用

  • 光端机
  • LED/MOCVD
  • 半导体
  • 太阳能

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