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5863EBROOKS 5863E气体质量流量控制器的详细资料

品牌材质不锈钢
精度等级0.1适用介质气体
款式电子带数显转换器形式一体式
公称直径3-6mm压力范围中压
工作压力0-10Mpa流量测速范围0-2500SLPMkg/h
温度范围中温工作温度0-65℃
量程比1:50产地进口
加工定制

5863E: Analog Thermal Mass Flow Meter, 100 - 1,000 slpm, Elastomer Seals

The Brooks Model 5863E elastomer sealed analog mass flow meter accurately measures gas flows of 100 - 1,000 slpm (Nitrogen). Brooks’ extremely stable flow sensor provides reliable, repeatable and accurate flow measurement even under varying process conditions. It eliminates the need for continuous monitoring and readjustment of gas pressures to provide a stable gas flow.


 

布鲁克斯模型5863E弹性体密封的模拟质量流量计精确测量气体流量10 - 1000 SLPM。布鲁克斯的极其稳定的流量传感器提供可靠,可重复和精确的流量测量,即使在不同的工艺条件。输出为0 - 5 VDC。

 

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