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BROOKS 5853E质量流量控制器
5853EBROOKS 5853E质量流量控制器的详细资料
品牌 无 材质 不锈钢 精度等级 0.1 适用介质 气体 款式 电子带数显 转换器形式 一体式 公称直径 3-6mm 压力范围 中压 工作压力 0-10Mpa 流量测速范围 0-2500SLPMkg/h 温度范围 中温 工作温度 0-65℃ 量程比 1:50 产地 进口 加工定制 否
可重复性:0.25%
控制范围:50:1
安装状态灵感度:复零后,比精确度误差不到±0.5%量程。
温度敏感度:零点:小于±0.075%量程每摄氏度
量程:比初校准刻度小±1.0%量程(在10-50摄氏度)
压力敏感度:±0.03%每psi到200psig(N2)
输出电压:0-5伏直流(200K欧姆的输出电阻)
输出信号:输出0-5伏直流到2000欧姆或更高的负荷
输出5±0.1伏直流(参考),大负荷2000欧姆
大操作压力:1500psig ;5-50psid压损(小压损根据气体和周围环境具体而定)
温度、外界/气体:41-149oF(5-65oC)
完全泄漏,外界:1×10-9cc/s
功率要求:常闭阀(或常开阀/流量≤2.5slpm)
3.5瓦特,直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常开阀/流量>2.5slpm
10.5瓦特,直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
构造材质:
标准接液部分采用不锈钢材质,可供选择的还有;Kalrez或Buna-N
连接:
硬件连接:标准9/16-18UNF不锈钢压力接头(Swagelok),可选:VCO或VCR
电气连接:卡连接器(镀金)或D型连接器(DA-15P)