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气路流量控制系统设备的详细资料

气路流量控制系统设备

 

•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。

气路流量控制系统设备

 

•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源,3位半数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S(程比为50:1)

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