BROOKS气体质量流量控制器与流量计相较的优势
　　BROOKS气体质量流量控制器用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制，它的结构组成为传感器、电路板、分流器通道机壳和调节阀等。
　　BROOKS气体质量流量控制器的工作原理：
　　气流进入气管道后大部分流量流过分流器通道，其中很小一部分进入传感器内部的毛细钢管，由于分流器通道的特殊结构，可以实现这两部分气体流量成正比例关系。传感器经过预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理测量的这一小部分气体的质量流量，用这一方法测量可以忽略温度和压力的影响，把传感器得到的流量检测信号与设定好的信号进行比较，控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样就可以实现控制功能。
　　BROOKS气体质量流量控制器的优点：
　　(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
　　对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于质量流量控制器，一般忽略不计。
　　(2) 测量控制的自动化
　　BROOKS气体质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
　　(3) 地定量控制流量
　　BROOKS气体质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
　　(4) 适用范围宽
　　BROOKS气体质量流量控制器有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～200sccm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100%，因此在很多领域得到广泛应用。