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2018-09-07
BROOKS流量控制器运用热动力学原理,一个有电源的加热器为内有连续稳定气流的
传感器套管的中部加热,在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。
没有气流时,到达两个温度测量元件的热量是相等的:有气流时则气流带走热量,两温度
测量元件就有了温度差异,温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电
路来反映,然后放大装置,以0-5V的输出电压输出到控制电路。
◎在无流量的情况下,热量会均匀的分散在每个温度元件中,随着流量的增加,流体带着
热量从上游(该处温度为T1)到达下游,则下游温度上升(该处温度为T2),不同的温
度上升通过两处元件显示,这种差异均衡的计量了气流或流速,电路显示温度的不同而
放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制电磁阀。当设定值低于2%时,控制阀完全关闭,控制阀由它的控制
电路控制能完全打开或关闭。◎
控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制电磁阀。当设定值低于2%时,
控制阀完全关闭,控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。
!警告
请勿在超过如下规格书说明范畴外操作本仪器,忽视此警告可能造成一系列对该仪器的
损坏或损伤。
流量范围
相当于0-3 sccm到0-3000 sccm氮气(N2)的范围
在SEMI(半导体设备和材料协会)标准压力和温度(0oC和101kPa)条件下测得
注:满程流量范围大于50 sccm
性能:校准后为满量程±1%,大于20slpm时为满量程±1.5%。
可重复性:0.25%
控制范围:50:1
安装状态灵感度:复零后,比度误差不到±0.5%量程。
温度敏感度:零点:小于±0.075%量程每摄氏度
量程:比初校准刻度小±1.0%量程(在10-50摄氏度)
压力敏感度:±0.03%每psi到200psig(N2)
输出电压:0-5伏直流(200K欧姆的输出电阻)
输出信号:输出0-5伏直流到2000欧姆或更高的负荷
输出5±0.1伏直流(参考),大负荷2000欧姆
大操作压力:1500psig ;5-50psid压损(小压损根据气体和周围环境具体而定)
温度、外界/气体:41-149oF(5-65oC)
完全泄漏,外界:1×10-9cc/s
功率要求:常闭阀(或常开阀/流量≤2.5slpm)
3.5瓦特,直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常开阀/流量>2.5slpm
10.5瓦特,直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
构造材质:
标准接液部分采用不锈钢材质,可供选择的还有;Kalrez或Buna-N
连接:
硬件连接:标准9/16-18UNF不锈钢压力接头(Swagelok),可选:VCO或VCR
电气连接:卡连接器(镀金)或D型连接器(DA-15P)