BROOKS流量控制器运用热动力学原理，一个有电源的加热器为内有连续稳定气流的

传感器套管的中部加热，在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。

没有气流时，到达两个温度测量元件的热量是相等的：有气流时则气流带走热量，两温度

测量元件就有了温度差异，温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电

路来反映，然后放大装置，以0－5V的输出电压输出到控制电路。

◎在无流量的情况下，热量会均匀的分散在每个温度元件中，随着流量的增加，流体带着

热量从上游（该处温度为T1）到达下游，则下游温度上升（该处温度为T2），不同的温

度上升通过两处元件显示，这种差异均衡的计量了气流或流速，电路显示温度的不同而

放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号，然后控制电磁阀。当设定值低于2％时，控制阀完全关闭，控制阀由它的控制

电路控制能完全打开或关闭。◎

控制电路比较设定要求值和输出流量信号，然后控制电磁阀。当设定值低于2％时，

控制阀完全关闭，控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。

!警告

请勿在超过如下规格书说明范畴外操作本仪器，忽视此警告可能造成一系列对该仪器的

损坏或损伤。

流量范围

相当于0－3 sccm到0－3000 sccm氮气（N2）的范围

在SEMI（半导体设备和材料协会）标准压力和温度（0oC和101kPa）条件下测得

注：满程流量范围大于50 sccm

性能：校准后为满量程±1％，大于20slpm时为满量程±1.5％。

可重复性：0.25％

控制范围：50：1

安装状态灵感度：复零后，比指定度误差不到±0.5％量程。

温度敏感度：零点：小于±0.075％量程每摄氏度

量程：比初校准刻度小±1.0％量程（在10－50摄氏度）

压力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)

输出电压：0－5伏直流（200K欧姆的输出电阻）

输出信号：输出0－5伏直流到2000欧姆或更高的负荷

          输出5±0.1伏直流（参考），大负荷2000欧姆

大操作压力：1500psig ;5-50psid压损（小压损根据气体和周围环境具体而定）

温度、外界/气体：41－149oF（5－65oC）

完全泄漏，外界：1×10^-9cc/s

功率要求：常闭阀（或常开阀/流量≤2.5slpm）

           3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

           常开阀/流量>2.5slpm

           10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

构造材质：

标准接液部分采用不锈钢材质，可供选择的还有;Kalrez或Buna-N

连接：

硬件连接：标准9/16－18UNF不锈钢压力接头(Swagelok)，可选：VCO或VCR

电气连接：卡连接器（镀金）或D型连接器（DA－15P）